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机械手臂.SORTER.EFEM

●人气商品:SCR3160CSN、STCR4160SN
●新型Aligner"SAL3000HV 系列"
●SSY-11010
●SSY-20010
  • 产品详情
●人气商品:SCR3160CSN、STCR4160SN
采用闭环位置控制电机配备绝对值编码器编码器不需要更换电池


●新型Aligner"SAL3000HV 系列" 
具有全自动调整功能JEL ALIGN TOOL软件
产品特点:
适用于镜面、透明、半透明、BG胶带贴附的不同材质不同尺寸晶圆的位置校准。
使用自主研发的图像识别传感器,采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计。
控制方式:串口RS232C或者并口光学I/O口
不符合SEMI规格的缺边形状也可以提供定制设计


●SSY-11010
4个Foup的inline类型 600片/h
适用于晶圆分选
对应300mm FOUP
符合SEMI Standard标准
配备ID Reader可以读取晶圆的ID信息
高吞吐量(300片/h or 600片/h)
通过对手臂活动范围的规划,能够顺畅而且高速地传输晶圆



●SSY-20010
适用于生产片盒(Cassette)和存储片盒(Container)间自动传送
搭载存储片盒自动开盖机构
自动识别并搬送存储片盒内晶圆和垫纸
可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
一台设备可以完成打包和拆包的功能